5 buracos 127x127x3mm Quartz Placa de vidro para 5 polegadas equipamento de calibração de wafer de semicondutor

Placa de vidro de quartzo de 5 furos 127x127x3mm para calibração de wafer de 5 polegadas

Esta placa de calibração de vidro de quartzo de 5 furos é uma ferramenta de calibração de equipamento de semicondutores de alta precisão.Ele corresponde às especificações padrão de wafer de 5 polegadas para verificação diária do equipamento e calibração em todo prober, AOI, aplicações de obturação e metrologia óptica.

Parâmetros do produto

Características fundamentais

• 5 Furtos de posicionamento precisos- Cinco buracos de localização com tolerância apertada para a calibração de coordenadas do equipamento, substituindo a verificação diária de wafers de silício.
• Ultra-alta planície¢ Superfície polida de dupla face, de precisão, com deformação térmica mínima, para uma precisão de calibração constante.
• Resistência à limpeza química- Resistente aos solventes de limpeza de semicondutores padrão, mantendo a estabilidade dimensional após ciclos de limpeza repetidos.
• Uniformidade ópticaO vidro de quartzo de baixa tensão garante uma transmissão óptica uniforme para sistemas de inspecção AOI e de visão.
• Estabilidade a longo prazo- Precisão estável durante a utilização repetida a longo prazo, concebida como um padrão de calibração dedicado à indústria de semicondutores.

Aplicações

1Inspecção de wafer de semicondutores

Placa de calibração principal para verificação da planície e dimensão da bolacha de 5 polegadas. Cinco buracos de localização permitem a calibração diária de coordenadas do equipamento, substituindo as rotinas padrão de pontos de verificação de bolachas de silício.Placa de referência de inspecção óptica AOI para a calibração do foco da lente e da precisão de reconhecimento.

2Processo de embalagem e sondagem

Placa de referência de posicionamento da estação de sonda para verificação da posição da sonda e verificação da planitude da plataforma através do layout de cinco buracos.Correção do desvio de posicionamento dos dispositivos mecânicos.

3Laboratório de Metrologia Óptica

Placa de calibração padrão para máquinas de medição de visão e testadores de contorno, utilizada para verificação da precisão de medição de equipamentos regulares.

4. Calibração automática de fixações da linha de produção

Padrão de calibração de ferramentas de equipamento automatizado de semicondutores, concebido para limpeza repetida sem deformação em ambientes de produção.

Vantagens em relação ao vidro comum

Ao contrário das placas de vidro normais, esta placa de calibração de vidro de quartzo apresenta polir de precisão de dois lados com deformação superficial extremamente baixa.A coaxialidade de cinco buracos e o diâmetro do furo são rigorosamente controlados dentro de tolerâncias rigorosasResistente aos produtos químicos de limpeza padrão para semicondutores, oferece uma precisão estável durante o uso repetido a longo prazo, tornando-se a parte de calibração padrão da indústria para aplicações de semicondutores.