Folha de vidro de quartzo de dimensão padrão Ultra Alta Planície para 9 polegadas de wafer

Chapa de vidro de quartzo de calibração de wafer de 9 polegadas com superplacidade

Esta folha de vidro de quartzo de calibração de 9 polegadas é um padrão de calibração de equipamentos de semicondutores de alta precisão.Ele corresponde às especificações padrão de 9 polegadas para a verificação diária de equipamentos em litografia, sondas, inspecção AOI e aplicações de metrologia óptica.

Parâmetros do produto

Características fundamentais

• Ultra-alta planície- uma superfície polida de precisão com tolerância de planura extremamente apertada, garantindo resultados de calibração fiáveis para equipamentos de semicondutores.
• Propriedade óptica uniforme¢ Transmissão óptica consistente em toda a superfície da chapa, ideal para a calibragem do sistema de inspecção AOI e baseada na visão.
• Baixo Estresse Interno- Deformação térmica mínima e deformação induzida por tensão, mantendo a estabilidade dimensional em condições ambientais variadas.
• Resistência à limpeza química- Resistente aos solventes de limpeza de semicondutores padrão, preservando a qualidade da superfície após ciclos de limpeza repetidos.
• Estabilidade a longo prazo- padrão de calibração específico concebido para utilização diária repetida sem degradação da precisão ao longo do tempo.

Aplicações

1Inspecção de wafer de semicondutores

Placa de referência principal para a inspeção de dimensão, planosidade e deformação de 9 polegadas da wafer.Unificação da precisão de detecção em todas as linhas de produção.

2Litografia e processo de embalagem

A calibração regular do foco da lente do equipamento e da precisão do posicionamento da plataforma reduz os defeitos de produção e melhora a consistência do rendimento.

3Equipamento de ensaio do sondador

Placa de referência para calibração de coordenadas da estação de sonda e verificação da planitude da plataforma, garantindo uma precisão de ensaio elétrico da wafer na fabricação de semicondutores.

4Calibração óptica de laboratório

Vidro de calibração padrão para máquinas de medição de visão e testadores de contorno, utilizado para verificação de precisão de instrumentos de rotina em laboratórios de metrologia.

Vantagens em relação ao vidro comum e à folha de quartzo comum

Ao contrário das placas de vidro comuns e das folhas de quartzo comuns, esta folha de vidro de quartzo de calibração apresenta superfícies polidas com precisão com tolerância de planura estritamente controlada.O produto apresenta uma deformação térmica mínima e mantém uma precisão estável após limpeza química repetida, tornando-o um produto de limpeza, parte de calibração de norma industrial especificamente concebida para ambientes de produção de semicondutores.