Calibração de Wafer espessado de 9 polegadas Placa de vidro de quartzo de alta temperatura

A placa de vidro de calibração de wafer espessada de 9 polegadas é um substrato de referência óptica de precisão projetado para inspeção de dimensão, aparência e planitude de wafer semicondutor.Fabricados a partir de vidro de sílica fundida de alta transmissão ou de vidro de borosilicato livre de álcalis, esta placa de calibração corresponde à dimensão padrão da bolacha de 9 polegadas, oferecendo uma estrutura espessada personalizada que resiste à dobra e à deformação durante ciclos de inspeção repetidos.As superfícies polidas de extrema precisão de dois lados proporcionam uma planície e um paralelismo ópticos, fornecendo uma linha de base geométrica estável para sistemas de inspecção óptica automatizada.A placa garante que os dados de medição permaneçam consistentes e repetíveis durante longas corridas de produção, tornando-se uma ferramenta essencial para a fabricação de wafers, alinhamento litográfico e aplicações de medição de imagem óptica.

• Estrutura espessada para rigidez:A chapa reforçada evita deformação e deformação durante a inspeção, fornecendo dados de calibração estáveis e repetíveis.
• Polido óptico de ultra-precisão de dois lados:As superfícies são livres de arranhões, buracos, bolhas e pedras, com um nível óptico de planície e paralelismo.
• Alta transmissão uniforme da luz UV para a luz visível:O substrato de alta pureza minimiza a interferência da luz perdida e é totalmente compatível com o equipamento de inspeção óptica automática AOI.
• Baixo coeficiente de expansão térmica:A deformação mínima sob mudança de temperatura mantém a geometria de referência estável e o material resiste a soluções de limpeza ácidas e alcalinas.
• De borda de precisão:As bordas sem chipping protegem as bolinhas e lentes de inspeção de arranhões durante o manuseio e carregamento.

A placa de vidro de calibração de wafer espessada de 9 polegadas serve como uma referência óptica versátil em ambientes de fabricação e inspeção de semicondutores.É amplamente utilizado para calibragem de dimensão de wafer de silício de 9 polegadas, fornecendo um padrão geométrico confiável que verifica a precisão das ferramentas de medição.A superfície de grau óptico serve de referência fiável para comparar a uniformidade da superfície e detectar desvios.A placa também funciona como um suporte padrão para instrumentos de medição de imagem óptica, suportando um posicionamento consistente durante a análise dimensional.funciona como uma placa de calibração de alinhamento que ajuda a manter o registro preciso do padrãoAlém disso, a placa é adotada como base de fixação para inspecção de defeitos na superfície da bolacha, oferecendo uma plataforma plana, estável e livre de contaminação para sistemas automatizados de detecção de defeitos.

• Placas espessadas anti-dobragem:A estrutura reforçada impede o deslocamento de referência durante a inspecção de massa a longo prazo, mantendo os resultados de calibração fiáveis, turno após turno.
• Material de alta pureza sem precipitação:O substrato limpo não libera contaminantes, protegendo as bolachas da poluição durante a inspeção de contato.
• Posibilidade de personalização completa:A espessura, o revestimento óptico, a marcação da escala de alinhamento, a fenda e a perfuração podem ser adaptados às necessidades do cliente.
• Alta consistência em uma única peça:O rigoroso controlo de fabrico garante que as placas sejam intercambiáveis entre várias máquinas de inspecção com desempenho idêntico.